晶圆晶锭寿命测量仪（MDP）

电流磁场

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工业CT/显微CT

X射线类

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磁场影像量测仪

电流磁场

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电子顺磁共振波谱仪

核磁共振仪

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俄歇电子能谱仪（AES）

能谱仪

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X射线光电子能谱仪（XPS）

能谱仪

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气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)

质谱仪

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飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）

质谱仪

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