应用领域：广泛地应用于化学、物理、半导体、电子、冶金、各种材料分析以及催化、吸附、腐蚀、磨损等方面的研究。

性能特点：

1. 量化薄膜的成分；

2. 微米范围多点分析；

3. 层的厚度测量；

4. 检测相互扩散层；

5. 数据处理软件功能强大。