应用领域: 广泛应用于元素分析、多相研究、化合物结构鉴定、富集法微量元素分析、元素价态鉴定。此外在对氧化、腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包覆等微观机理研究；污染化学、尘埃粒子研究等的环保测定；分子生物化学以及三维剖析如界面及过渡层的研究等方面有所应用。

性能特点：

1. 可以分析除H和He以外的所有元素，对所有元素的灵敏度具有相同的数量级；

2. 相邻元素的同种能级的谱线相隔较远，相互干扰较少，元素定性的标识性强；

3. 能够观测化学位移；

4. 既可测定元素的相对浓度，又可测定相同元素的不同氧化态的相对浓度；

5. 样品分析的深度约2 nm，信号来自表面几个原子层，样品量可少至10-8g，**灵敏度可达10-18g。