应用领域：半导体晶片、液晶产品、微机电系统、光纤产品、数据存储盘、材料研究、精密加工表面、生物医学工程等。

性能特点：

1. 拥有超大测量空间，可以测量更大尺寸、更复杂形状的样品；

2. 开放式结构和专利光学镜头，实现了更长的工作距离下获得理想

的数值孔径；

3. 对样品大小和高度，取样过程及实验环境要求，都相对宽松很多，且可以快速更换样品，轻松获得样品表面精密数据；