应用领域：适用于高精密光学零件的自由曲面的测量。

性能特点：

1. 可以提供球面元件、非球面元件、衍射元件及自由曲面等面的三维光栅 及径向分析；

2. 可以测量环面、双锥面、合成非球面、椭球面、NURBS样条曲面、非球面柱面 、点云以及Zernike定义的曲面等；

3. 测针测量范围可达到28mm，分辨率可达0.8nm，测量角度到达50°，面型误差小于150nm。